Beleuchtungsoptik für die Projektionslithographie sowie Hohlwellenleiter-Komponente hierfür

WO2016046088 Art A1 31. März 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016046088
Aktenzeichen: EP15766814
Anmeldetag: 18. September 2015
Veröffentlichung: 31. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20F21V8/00G02B27/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

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