Wafer-Träger-Anordnung, Verfahren zu deren Herstellung und Verwendung der Anordnung bei der Bearbeitung des Wafers
WO2016046741
Art A1
31. März 2016
Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016046741
- Aktenzeichen
- EP15778742
- Anmeldetag
- 22. September 2015
- Veröffentlichung
- 31. März 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/683
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nissan Chemical Industries, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nissan Chemical Corporation
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.
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