Wafer-Träger-Anordnung, Verfahren zu deren Herstellung und Verwendung der Anordnung bei der Bearbeitung des Wafers

WO2016046741 Art A1 31. März 2016

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016046741
Aktenzeichen
EP15778742
Anmeldetag
22. September 2015
Veröffentlichung
31. März 2016
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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