Mask blank, method for producing mask blank and method for producing transfer mask

WO2016047345 Art A1 31. März 2016

Anmelder: HOYA Corporation, Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016047345
Aktenzeichen: EP15843771
Anmeldetag: 25. August 2015
Veröffentlichung: 31. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/50C08F220/28G03F7/11H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: HOYA Corporation
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

701 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

2.124 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von