Method for removing adhering matter, dry etching method and substrate processing apparatus
WO2016047429
Art A1
31. März 2016
Anmelder: Central Glass Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016047429
- Aktenzeichen
- EP15843931
- Anmeldetag
- 7. September 2015
- Veröffentlichung
- 31. März 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/3065H01L21/302H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Central Glass Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Central Glass
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.
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