Board processing apparatus and board processing method

WO2016047679 Art A1 31. März 2016

Anmelder: Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016047679
Aktenzeichen: EP15843627
Anmeldetag: 24. September 2015
Veröffentlichung: 31. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677H01L21/027H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ebara Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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