Carbosilane substituted amine precursors for deposition of si-containing films and methods thereof

WO2016049154 Art A1 31. März 2016

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016049154
Aktenzeichen: EP15843223
Anmeldetag: 23. September 2015
Veröffentlichung: 31. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C07F7/10C07F7/02C07F7/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

2.774 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Organische Chemie

Vertreten von