Light source system, beam transmission system, and exposure device

WO2016051518 Art A1 7. April 2016

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016051518
Aktenzeichen: EP14902931
Anmeldetag: 30. September 2014
Veröffentlichung: 7. April 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/13H01L21/027H01S3/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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