Coating device and coating method

WO2016051896 Art A1 7. April 2016

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016051896
Aktenzeichen: EP15847507
Anmeldetag: 6. Juli 2015
Veröffentlichung: 7. April 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H05B33/10B05C5/00B05C11/10B05C13/02B05C21/00B05D1/26B05D1/32H01L51/50

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

854 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von