Encoder, holding member, encoder attachment method, drive apparatus, robot apparatus, and stage apparatus

WO2016052342 Art A1 7. April 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016052342
Aktenzeichen: EP15846065
Anmeldetag: 25. September 2015
Veröffentlichung: 7. April 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01D5/245G01D5/244H02K11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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