Ecr plasma generation apparatus

WO2016052877 Art A1 7. April 2016

Anmelder: Korea Basic Science Institute 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016052877
Aktenzeichen: EP15847115
Anmeldetag: 7. September 2015
Veröffentlichung: 7. April 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46C23C16/50H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Basic Science Institute
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Basic Science Institute

Das Korea Basic Science Institute ist eine staatliche südkoreanische Forschungseinrichtung mit Sitz in Daejeon, die wissenschaftliche Geräte und Analytik für andere Forschungseinrichtungen bereitstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Halbleiter- und Elektronikbauelemente. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2002 bis 2025 ab.

258 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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