Microelectromechanical Systems (mems) Pressure Sensor Having A Leakage Path To A Cavity

WO2016053587 Art A1 7. April 2016

Anmelder: InvenSense, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016053587
Aktenzeichen: EP15766369
Anmeldetag: 9. September 2015
Veröffentlichung: 7. April 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01L9/12G01L27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: InvenSense, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 InvenSense

InvenSense ist ein US-amerikanischer Hersteller von Bewegungssensoren und MEMS-Bauelementen, Teil des TDK-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Telekommunikation und Software, ergänzt durch Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2025 betreffen unter anderem Kartierung mittels Sensordaten und Magnetfeldmessung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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