Matrix reduction for lithography simulation

WO2016054477 Art A1 7. April 2016

Anmelder: Synopsys, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016054477
Aktenzeichen: EP15847682
Anmeldetag: 2. Oktober 2015
Veröffentlichung: 7. April 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Synopsys, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Synopsys

Synopsys ist ein US-amerikanischer Anbieter von Software für den Chip- und Systementwurf (EDA) mit Sitz in Kalifornien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Optik und Elektronik für Entwurfswerkzeuge. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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