A method of patterning a layer

WO2016054677 Art A1 14. April 2016

Anmelder: NewSouth Innovations Pty Limited 🇦🇺

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016054677
Aktenzeichen
EP15849657
Anmeldetag
7. Oktober 2015
Veröffentlichung
14. April 2016
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20H01L29/06H01L21/76G03F7/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NewSouth Innovations Pty Limited
Land
🇦🇺 Australien
🇦🇺 NewSouth Innovations

NewSouth Innovations ist die Technologietransfer-Gesellschaft der University of New South Wales in Australien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Medizintechnik, ergänzt durch Mess- und Prüftechnik sowie Pharma- und Biotechnologie. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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