Mobile device user interface for supporting service maintenance and tracking activities in semiconductor tool

WO2016057565 Art A1 14. April 2016

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016057565
Aktenzeichen: EP15848530
Anmeldetag: 6. Oktober 2015
Veröffentlichung: 14. April 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G05B19/409

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von