Temperature sensor for micro-electromechanical systems and method for the production thereof

WO2016059282 Art A1 21. April 2016

Anmelder: Consejo Superior De Investigaciones Científicas, Slovak University of Technology in Bratislava 🇪🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016059282
Aktenzeichen: EP15850742
Anmeldetag: 15. Oktober 2015
Veröffentlichung: 21. April 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01K5/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Consejo Superior De Investigaciones Científicas
Slovak University of Technology in Bratislava
Land: 🇪🇸 Spanien

🇪🇸 Consejo Superior de Investigaciones Científicas

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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