Foil trap and extreme-ultraviolet light source apparatus for mask inspection

WO2016059768 Art A1 21. April 2016

Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016059768
Aktenzeichen: EP15851348
Anmeldetag: 5. Oktober 2015
Veröffentlichung: 21. April 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F1/84H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

559 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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