Method of producing an opening with smooth vertical sidewall in a semiconductor substrate

WO2016062614 Art A1 28. April 2016

Anmelder: AMS AG 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016062614
Aktenzeichen: EP15781117
Anmeldetag: 15. Oktober 2015
Veröffentlichung: 28. April 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AMS AG
Land: 🇦🇹 Österreich

🇩🇪 ams OSRAM

ams OSRAM International GmbH ist ein deutsch-österreichischer Hersteller von Sensoren und optoelektronischen Bauteilen, entstanden aus dem Zusammenschluss von ams und Osram.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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