Polishing device and wafer polishing method

WO2016063457 Art A1 28. April 2016

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Fujikoshi Machinery Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016063457
Aktenzeichen: EP15852510
Anmeldetag: 25. September 2015
Veröffentlichung: 28. April 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B24B37/00B24B37/04B24B53/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Fujikoshi Machinery Corp.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

1.022 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

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