Particle detection method, particle detection device and particle detection system

WO2016063912 Art A1 28. April 2016

Anmelder: The University of Tokyo, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016063912
Aktenzeichen
EP15852231
Anmeldetag
21. Oktober 2015
Veröffentlichung
28. April 2016
Rechtsraum
WO
IPC
G01N15/14C12M1/34C12M1/42G01N37/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
The University of Tokyo
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 University of Tokyo

Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.

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🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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