Desmear module of a horizontal process line and a method for separation and removal of desmear particles from such a desmear module

WO2016066431 Art A1 6. Mai 2016

Anmelder: MKS IP Association 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016066431
Aktenzeichen
EP15781084
Anmeldetag
15. Oktober 2015
Veröffentlichung
6. Mai 2016
Rechtsraum
WO
IPC
H05K3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MKS IP Association
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

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