Verfahren zur Ablösung eines Substrats, Vorrichtung zur Durchführung eines Solchen Verfahrens und Pumpvorrichtung zum Pumpen von Ätzlösung

WO2016066645 Art A2 6. Mai 2016

Anmelder: OSRAM Opto Semiconductors GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016066645
Aktenzeichen
EP15794840
Anmeldetag
27. Oktober 2015
Veröffentlichung
6. Mai 2016
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
OSRAM Opto Semiconductors GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 OSRAM Opto Semiconductors

Deutsches Unternehmen für optoelektronische Halbleiter mit Sitz in Regensburg, Tochtergesellschaft von OSRAM. Es entwickelt LEDs, Laserdioden und Sensoren für Beleuchtung, Automobil- und Consumer-Elektronik.

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