Image measurement device, structure manufacturing method, image measurement method, and image measurement program

WO2016067423 Art A1 6. Mai 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016067423
Aktenzeichen: EP14905049
Anmeldetag: 30. Oktober 2014
Veröffentlichung: 6. Mai 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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