Chemical mechanical polishing device for polishing work piece

WO2016068327 Art A1 6. Mai 2016

Anmelder: Ebara Corporation, Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016068327
Aktenzeichen: EP15854640
Anmeldetag: 30. Oktober 2015
Veröffentlichung: 6. Mai 2016
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/02B23B29/00B24B9/00B24B37/27

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Ebara Corporation
Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

511 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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