Sputtering target alloy and sputtering target comprising same

WO2016068562 Art A1 6. Mai 2016

Anmelder: Korea Institute Of Industrial Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016068562
Aktenzeichen
EP15855695
Anmeldetag
27. Oktober 2015
Veröffentlichung
6. Mai 2016
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34C22C16/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Korea Institute Of Industrial Technology
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Korea Institute of Industrial Technology

Das Korea Institute of Industrial Technology (KITECH) ist eine südkoreanische staatliche Forschungseinrichtung für angewandte Industrietechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik sowie Metallurgie und Halbleitertechnik, ergänzt durch Verfahrenstechnik. Anmeldungen sind von 2002 bis in die Gegenwart belegt.

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