Amorphous film and method for fabricating nano-structured film comprising nitrogen

WO2016068635 Art A1 6. Mai 2016

Anmelder: Korea Institute Of Industrial Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016068635
Aktenzeichen: EP15853942
Anmeldetag: 30. Oktober 2015
Veröffentlichung: 6. Mai 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34C23C14/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Institute Of Industrial Technology
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Industrial Technology

Das Korea Institute of Industrial Technology (KITECH) ist eine südkoreanische staatliche Forschungseinrichtung für angewandte Industrietechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik sowie Metallurgie und Halbleitertechnik, ergänzt durch Verfahrenstechnik. Anmeldungen sind von 2002 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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