Low-temperature formation of thin-film structures
WO2016068713
Art A1
6. Mai 2016
Anmelder: Technische Universiteit Delft 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016068713
- Aktenzeichen
- EP15820317
- Anmeldetag
- 30. Oktober 2015
- Veröffentlichung
- 6. Mai 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/20H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Technische Universiteit Delft
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
Technische Universiteit Delft
Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.
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