Solid source vapor delivery package and method

WO2016069467 Art A1 6. Mai 2016

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016069467
Aktenzeichen: EP15854865
Anmeldetag: 26. Oktober 2015
Veröffentlichung: 6. Mai 2016
Rechtsraum: WO
IPC: B01J7/00C23C16/455H01J37/317H01L21/205H01L21/265

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Entegris, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von

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