Measurement systems having linked field and pupil signal detection

WO2016070155 Art A1 6. Mai 2016

Anmelder: KLA-Tencor Corporation, Fu, Jiyou, Sapiens, Noam 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016070155
Aktenzeichen: EP15855327
Anmeldetag: 31. Oktober 2015
Veröffentlichung: 6. Mai 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01J1/02H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: KLA-Tencor Corporation
Fu, Jiyou
Sapiens, Noam
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

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