Apparatus and methods for optics protection from debris in plasma-based light source

WO2016070189 Art A1 6. Mai 2016

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016070189
Aktenzeichen: EP15854304
Anmeldetag: 2. November 2015
Veröffentlichung: 6. Mai 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/00H01J17/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

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