Thermal Conditioning Fluid Pump

WO2016071059 Art A1 12. Mai 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016071059
Aktenzeichen: EP15775199
Anmeldetag: 5. Oktober 2015
Veröffentlichung: 12. Mai 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20F28D15/02G02B7/00H01L23/473

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

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