Surface micromechanical pressure sensor and method for manufacturing the same

WO2016071576 Art A1 12. Mai 2016

Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016071576
Aktenzeichen: EP15801191
Anmeldetag: 9. November 2015
Veröffentlichung: 12. Mai 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01L9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Land: 🇫🇮 Finnland

🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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