Apparatus for and method of supplying target material

WO2016073190 Art A1 12. Mai 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016073190
Aktenzeichen: EP15857667
Anmeldetag: 20. Oktober 2015
Veröffentlichung: 12. Mai 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G21K5/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇺🇸 USA

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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