Method and device for simulating particle etching or depositional evolution, and computer readable medium

WO2016074202 Art A1 19. Mai 2016

Anmelder: Tsinghua University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016074202
Aktenzeichen: EP14906075
Anmeldetag: 13. November 2014
Veröffentlichung: 19. Mai 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G06F17/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tsinghua University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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