Polishing composition and manufacturing method of substrate using same
WO2016075880
Art A1
19. Mai 2016
Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016075880
- Aktenzeichen
- EP15858709
- Anmeldetag
- 27. Oktober 2015
- Veröffentlichung
- 19. Mai 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C09K3/14B24B37/00C09G1/02H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fujimi Incorporated
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujimi
Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
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