Liquid level gauge and liquid raw material vaporization device

WO2016075892 Art A1 19. Mai 2016

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016075892
Aktenzeichen: EP15858476
Anmeldetag: 2. November 2015
Veröffentlichung: 19. Mai 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01F23/22B01J4/00C23C16/455H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von