Method for manufacturing silicon carbide epitaxial substrate and silicon carbide epitaxial substrate
WO2016075957
Art A1
19. Mai 2016
Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016075957
- Aktenzeichen
- EP15858530
- Anmeldetag
- 21. Mai 2015
- Veröffentlichung
- 19. Mai 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B29/36C23C16/02C23C16/42C30B25/14H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Sumitomo Electric Industries, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Electric Industries
Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.
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