Method for supporting semiconductor wafer, and device for supporting same

WO2016075980 Art A1 19. Mai 2016

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016075980
Aktenzeichen: EP15858861
Anmeldetag: 26. August 2015
Veröffentlichung: 19. Mai 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/26H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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