Band-narrowing laser device and method for positioning band-narrowing module

WO2016076279 Art A1 19. Mai 2016

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016076279
Aktenzeichen: EP15859721
Anmeldetag: 9. November 2015
Veröffentlichung: 19. Mai 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/137

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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