Masking arrangement with separate mask for a coating process and web coating installation

WO2016078693 Art A1 26. Mai 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016078693
Aktenzeichen
EP14799761
Anmeldetag
17. November 2014
Veröffentlichung
26. Mai 2016
Rechtsraum
WO
IPC
B05C21/00C23C14/04C23C14/34C23C14/56H01L21/3213H01L51/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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