Optisches System und Verfahren zur Messung der Intensität Elektromagnetischer Strahlung in einem Optischen System

WO2016078983 Art A2 26. Mai 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016078983
Aktenzeichen: EP15801696
Anmeldetag: 11. November 2015
Veröffentlichung: 26. Mai 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/108H01L31/0224H01L31/0304H01L31/0232H01L31/102G01J1/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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