Extreme ultraviolet light generating device

WO2016079838 Art A1 26. Mai 2016

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016079838
Aktenzeichen: EP14906504
Anmeldetag: 20. November 2014
Veröffentlichung: 26. Mai 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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