Dual wavelength dual interferometer with optical combiner-splitter
WO2016081874
Art A1
26. Mai 2016
Anmelder: Kla-tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016081874
- Aktenzeichen
- EP15861980
- Anmeldetag
- 20. November 2015
- Veröffentlichung
- 26. Mai 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01B9/02G01N21/45
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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