Method for manufacturing pillar or hole structures in a layer of a semiconductor device, and associated semiconductor structure

WO2016083064 Art A1 2. Juni 2016

Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016083064
Aktenzeichen: EP15787194
Anmeldetag: 28. Oktober 2015
Veröffentlichung: 2. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L21/033

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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🇧🇪 Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D

Katholieke Universiteit Leuven K.U. Leuven R&D ist die Technologietransfereinrichtung der belgischen Universität Leuven. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik, Pharma-/Biotechnologie und organische Chemie, ergänzt durch Mess- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2021 betreffen unter anderem Diagnostik und Biomarker für die Tumortherapie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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