Piezoelektrische Positionier-Vorrichtung und Positionier-Verfahren mittels einer Derartigen Piezoelektrischen Positionier-Vorrichtung

WO2016083345 Art A1 2. Juni 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016083345
Aktenzeichen: EP15798440
Anmeldetag: 24. November 2015
Veröffentlichung: 2. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L41/04G01Q10/06G03F7/20G05D3/20G12B5/00H02N2/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von