Verfahren zum Kalibrieren einer Pyrometeranordnung eines Cvd- oder Pvd-Reaktors

WO2016083373 Art A1 2. Juni 2016

Anmelder: Aixtron SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016083373
Aktenzeichen: EP15801144
Anmeldetag: 24. November 2015
Veröffentlichung: 2. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/54C23C16/52G01J5/52G01J5/60G01J5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Aixtron SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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