Three-dimensional shape measurement device, three-dimensional shape measurement method, structure production system, structure production method, and three-dimensional shape measurement program

WO2016084226 Art A1 2. Juni 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016084226
Aktenzeichen: EP14906772
Anmeldetag: 28. November 2014
Veröffentlichung: 2. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/25

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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