Epitaxial wafer, semiconductor element, epitaxial wafer manufacturing method, and semiconductor element manufacturing method

WO2016084311 Art A1 2. Juni 2016

Anmelder: Sanken Electric Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016084311
Aktenzeichen
EP15863344
Anmeldetag
6. November 2015
Veröffentlichung
2. Juni 2016
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/20C30B29/38H01L21/205H01L21/338H01L29/778H01L29/812
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Sanken Electric Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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