Liquid level detection device, liquid level detection method, high-temperature plasma source material supply device, and extreme ultraviolet light source device

WO2016084356 Art A1 2. Juni 2016

Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016084356
Aktenzeichen: EP15863105
Anmeldetag: 19. November 2015
Veröffentlichung: 2. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01F23/24G01F23/22G03F7/20G21K5/00H01L21/027H05G1/00H05G1/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

559 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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