Charged particle beam apparatus

WO2016084872 Art A1 2. Juni 2016

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016084872
Aktenzeichen: EP15862566
Anmeldetag: 26. November 2015
Veröffentlichung: 2. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20G01N23/04H01J37/147H01J37/22H01J37/244H01J37/26H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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