Optisches Element, Optische Anordnung und Herstellungsverfahren

WO2016087312 Art A1 9. Juni 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016087312
Aktenzeichen: EP15801411
Anmeldetag: 26. November 2015
Veröffentlichung: 9. Juni 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/00G02B21/33G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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